真空变压吸附（VPSA/VSA)制氧系统
※工作原理：
在环境温度下，利用空气中的氮气和氧气在沸石分子筛（ZMS）上的吸附性能不同（氧气能通过而氮气被吸附）而对两者进行分离获取富氧产品。
※空气分离的主要三个步骤：
◆ 净化：环境空气在进入一个鼓风机系统（无油鼓风机）前将会被净化以除去粉尘。
◆ 吸附：经过预处理的空气进入装有沸石分子筛的吸附塔。沸石分子筛在去除空气中的水分和二氧化碳后，吸附氮气，剩下的氧气从吸附塔中流出。该吸附过程将在沸石分子筛的吸附能力饱和前停止。
◆ 解吸：饱和的沸石分子筛通过减压达到再生的目的（ 即释放被吸附气体—水分、二氧化碳和氮气）。这个步骤通过一个简单的压力释放系统（PSA）或利用真空泵（VPSA/VSA）来实现，废气自动放空。
※技术规格：
◆ 装置流量：0.2～5000 Nm3/h
◆ 纯 度: 可达95%；
※系统特点
◆ 能耗最低，比国内同类装置低20%~30%，生产每方氧气的电耗≤0.40 kWh；
◆ 采取原装进口专用氧分子筛吸附剂（ZMS），吸附性能好；
◆ 装置运行稳定性、可靠性高；
◆ 维护和保养费用低；
◆ 气动控制阀门全部进口，安全可靠，使用寿命长；
◆ 主要控制设备全部进口，可根据吸附塔内压力的变化而自动调节阀门开度以维持正常生产。
※工艺流程方框图:
